工件经前处理合格后,亮面曝光显影厂家,即可进行氧化。在该工序中主要控制氧化电流及氧化时间,保证批量产品氧化质量的一致性。
①生产中必须保证导电极杆和电接头光洁干燥,亮面曝光显影加工,确保导电性能良好。
②每天检查设备完好情况,亮面曝光显影厂,保证工作缸溶液都处于工艺控制范围。批量生产的氧化缸中H2SO4及All浓度每天都要分析,协助工艺工程师做好氧化缸的调节工作。
本实施方式中,边缘曝光装置20架设于基板输送机构50上,且包括边缘曝光机21、CXD影像处理器22及驱动装置23。边缘曝光机21与基板S的边缘对齐设置。CXD影像处理器22与边缘曝光机21连接,例如固定于边缘曝光机21的前端,用于撷取基板S和边缘曝光机的边缘的影像,并通过该影像测定基板S的偏移量。驱动装置23与边缘曝光机21和CXD影像处理器22连接,驱动装置23根据基板S的偏移量驱动边缘曝光机20移动,以补偿偏移量。该基板的偏移量是指基板S的边缘相对于边缘曝光机21的偏移量。
精密蚀刻表面清洁度和覆盖能力的关系:在精密蚀刻过程中,顺德亮面曝光显影,覆盖能力只是表明被蚀刻零件的凹洼处和深孔部位有无蚀刻层或被蚀刻层覆盖,并不是指蚀刻层厚度的问题。覆盖能力主要和蚀刻件本身的材料有关。不同级体材料进行电沉积时,覆盖能力产别较大。此外,覆盖能力与蚀刻件表面状态,特别是表面的清洁度有很大关系,相同的基体材料在相同的蚀刻液中施蚀刻时,光洁度好的基体表面上覆盖能力要比粗糙而不洁的基体表面好。
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