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曝光及显影设备还包括主体曝光机10、基板输送机构50及传送装置40。主体曝光机10用于先对基板S的主体进行曝光。传送装置40用于将来自该主体曝光机10的基板S传送至基板输送机构50，传送装置40例如为机械手臂。基板输送机构50用于将基板S输送至显影装置30，基板输送机构50例如为输送辊。由于该基板的长边边缘容易存在残留光阻，因此，本公开通过设置对应于基板的长边边缘的边缘曝光装置20，即可去除绝大部分的残留光阻。


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